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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：半導(dǎo)體封裝材料真空探針臺(tái) 集成化設(shè)計(jì)

  • 產(chǎn)品型號(hào)：HuaceZ600-D
  • 產(chǎn)品廠商：華測(cè)
  • 產(chǎn)品價(jià)格：0
  • 折扣價(jià)格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
真空探針臺(tái)特點(diǎn)：精密小巧、按需定制、集成化設(shè)計(jì)、性能穩(wěn)定，測(cè)試類型： R-T ，C-V， I-V，R-I，Cp-D, ε測(cè)試，搭配儀器：源表、高阻計(jì)、直流低電阻測(cè)試儀、阻抗分析儀、半導(dǎo)體參數(shù)分析儀。
詳情介紹：

產(chǎn)品參數(shù)

01.腔體：高真空腔體

02.樣品臺(tái)尺寸：4英寸

03.樣品固定：彈簧壓片

04.觀察窗口：6英寸

05.觀察窗口材質(zhì)：藍(lán)寶石（保證紫外光的透光性）

06.真空度：2帕

07.探針臂接口：4個(gè)探針臂接口

08.電學(xué)測(cè)試接口：3同軸BNC*4、2同軸BNC*2\高壓接口10KV*1

09.輔助接口：真空接口、加熱器接口、熱電阻接口、液氮接口、保護(hù)氣接口、表面溫度熱電阻接口*2

10.制冷方式：液氮

11.溫度范圍：-196℃~600℃

12.溫控精度：±0.1℃

13.穩(wěn)定性：-196℃-常溫±0.5℃、常溫-600℃±0.2℃

14.外形：650mm長(zhǎng)*650mm寬*460mm高

15.重量：約100千克

光學(xué)系統(tǒng)

01.顯微鏡類型：單筒顯微鏡

02.放大倍率：20X-180X

03.移動(dòng)行程： X軸行程100MM  Y軸行程50MM  Z軸行程50mm

04.光源：外置LED環(huán)形光源

05.CCD：2800萬(wàn)像素

06.顯示器：10寸LED

探針臂

01.X-Y-Z移動(dòng)行程：20mm*20mm*20mm

02.結(jié)構(gòu)：外置探針臂，真空波紋管結(jié)構(gòu)

03.移動(dòng)精度：10微米

探針組件

01.線纜：同軸線

02.接頭類型：SMA

03.漏電精度：10fA

04.固定探針：夾緊固定

05.頻率支持：DC-67GHZ

06.針尖直徑：0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米

高壓組件

01.線纜：高壓電纜10KV

02.接頭類型：香蕉頭

其他組件

01.真空組件：機(jī)械泵

02.冷源組件：10L液氮罐


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