高低溫真空探針臺(tái)

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

真空-溫度協(xié)同控制

真空系統(tǒng)：分子泵+渦旋泵多級(jí)抽氣，30分鐘內(nèi)實(shí)現(xiàn)10^-6 torr級(jí)真空度，支持惰性氣體氛圍切換；

超寬溫域：液氮制冷與電極加熱復(fù)合控溫，控溫穩(wěn)定性±0.1K。

測(cè)量能力

抗干擾設(shè)計(jì)：真空屏蔽腔體降低電磁噪聲，支持pA級(jí)微弱電流與μΩ級(jí)電阻測(cè)量；

多通道拓展：標(biāo)配4探針臂（可擴(kuò)展至6探針臂），支持四線法、射頻探針、光電協(xié)同測(cè)試。

產(chǎn)品參數(shù)

腔體

樣品臺(tái)尺寸：2英寸  4英寸

樣品固定：彈簧壓片

觀察窗口：2英寸  4英寸

真空度：10-6 torr

探針臂接口：至多6個(gè)探針臂接口

其它接口：電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口

制冷方式：液氮/液氦  、制冷機(jī)

控制方式：開循環(huán)手動(dòng) 、閉循環(huán)自動(dòng)控制

溫度范圍：77K ~ 450K  、4.5K ~ 450K

溫度分辨率：0.1K / 0.01K / 0.001K

穩(wěn)定性：±1K / ±0.1K / ±0.01K

顯微鏡

X-Y-Z移動(dòng)行程：50mm×25mm×13mm

結(jié)構(gòu)：外置探針臂，真空波紋管結(jié)構(gòu)

移動(dòng)精度：10μm / 1μm

光源：外置LED環(huán)形光源/同軸光源

CCD：200萬像素/ 500萬像素/ 1200萬像素

探針座

X-Y-Z移動(dòng)行程：50mm×25mm×13mm

結(jié)構(gòu)：外置探針臂，真空波紋管結(jié)構(gòu)

移動(dòng)精度：10μm / 1μm

探針夾具

線纜：同軸線/三軸線/射頻線

漏電精度：10pA / 100fA / 10fA

固定探針：彈簧固定/螺絲固定

接頭類型：BNC /三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子/射頻接口

探針

射頻支持：DC-67GHZ

針尖直徑：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm

材質(zhì)：鎢鋼/鈹銅

真空組件 分子泵組/機(jī)械泵

冷源組件 50L / 100L液氮罐/液氦罐/制冷機(jī)

外形重量 730mm×750mm×1265mm（長(zhǎng)寬高） 約100kg

防震桌參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào)：氣浮隔振防震桌

隔振方式：空氣彈簧隔振

固有頻率：1.5Hz-2Hz

支撐腿：氣浮支撐腿

產(chǎn)品型號(hào)：阻尼隔振防震桌

隔振方式：復(fù)合材料隔振

固有頻率：6Hz-8Hz

支撐腿：阻尼支撐腿

防震桌技術(shù)參數(shù)

材質(zhì)：不銹鋼/碳鋼

平面度：0.05mm/m2

粗糙度：＜0.8μm

孔距：25×25mm

孔徑：M6

平臺(tái)尺寸（長(zhǎng)寬）：可定制

平臺(tái)厚度：50/100/200mm

支撐腿數(shù)量：4只/6只

支撐腿高度：800mm±10mm

其他：內(nèi)芯采用蜂窩支撐、表面密迪紋處理、支撐腳可選腳輪、特殊尺寸可定制

應(yīng)用領(lǐng)域

1.研發(fā)階段：材料與器件的極限性能探索

在新型半導(dǎo)體材料（如鈣鈦礦、氧化鎵）的研發(fā)中，晶圓測(cè)試高低溫真空探針臺(tái)可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)材料在真空、高溫或低溫條件下的載流子遷移率、擊穿電壓等參數(shù)，為材料優(yōu)化提供數(shù)據(jù)支撐。

2.失效分析：準(zhǔn)確定位缺陷根源

通過微區(qū)探針掃描技術(shù)，配合SEM或FIB聯(lián)用，可對(duì)芯片的短路、漏電等故障點(diǎn)進(jìn)行亞微米級(jí)定位，快速鎖定制造工藝中的缺陷環(huán)節(jié)。

3.量產(chǎn)前驗(yàn)證：提升良率與可靠性

在晶圓出廠前，晶圓測(cè)試高低溫真空探針臺(tái)可對(duì)成千上萬個(gè)微結(jié)構(gòu)進(jìn)行自動(dòng)化批量測(cè)試（如接觸電阻、絕緣性能），結(jié)合AI算法實(shí)時(shí)分析數(shù)據(jù)，提前篩除次品，降低下游封測(cè)成本。